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简单介绍：
只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度
详情介绍：
Verifire? MST多表面测量
Verifire? MST激光干涉仪提供了一个****的崭新的测量方式和能力，传统的激光干涉仪应用是测量两个面的波前变化，也就是说测量一个由两个面所形成的腔。但是，如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板，则就会产生两个叠加的干涉条纹（三个面的腔所形成），这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。现在，ZYGO的Verifire? MST激光干涉仪解决了这一个问题，通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶变换方法，可以进行三个甚至四个平行面的测量，不仅可以显示所有的面，并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。
三平面干涉测量
激光干涉仪可以在你的测量中，只要一次数据采集，就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度，同时还能得到平行平板的光学厚度：
?前表面形貌图
?光学厚度变化
?物理厚度变化和后表面形变
四表面干涉测量
这一技术能够通过两次数据采集得到下列结果：
?前表面和后表面的形貌图
?物理厚度变化
?光学厚度变化
?折射率变化
-非线性材料均匀性
-线性材料均匀性
